ARC8-MS4 是針對(duì)工模具開發(fā)的真空鍍膜機(jī)，主要應(yīng)用于滾齒刀、絲錐、銑刀等，可以鍍制氮化鈦、氮化鋁鈦、氮化鋁鈦鉻等膜層。
具體技術(shù)規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | ?1000mm * H1000mm |
| 極限真空度 | 1.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態(tài)） |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 2*2*1m3 |
| 真空室 | 進(jìn)口304不銹鋼，雙層內(nèi)襯，五年質(zhì)保 |
| 抽氣系統(tǒng) | 進(jìn)口萊寶分子泵+萊寶羅茨泵+萊寶粗抽泵 |
| 真空檢測(cè) | 萊寶全量程真空計(jì) |
| 流量控制 | Brooks/MKS/AE/可選 |
| 轉(zhuǎn)架 | 可拉出轉(zhuǎn)架 |
| 磁控濺射 | 4支柱狀濺射靶 |
| 陰極電弧 | 8套復(fù)合磁場(chǎng)陰極弧 （靶材規(guī)格150*20） |
| 電源 | 美國AE品牌偏壓 ，霍廷格中頻電源 |
| 加熱系統(tǒng) | 500度，3根熱電偶監(jiān)測(cè) |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關(guān)，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。 |
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